GRYLLS數(shù)字量氣體流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；

GRYLLS數(shù)字量氣體流量控制器采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設(shè)定的電壓進行比較,用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

產(chǎn)品應(yīng)用:

玻璃行業(yè)、太陽能、大氣監(jiān)測、工業(yè)制作、石油石化、煤炭冶金、制氣配氣、環(huán)保、各種儀器分析

格里爾斯GRYLLS-5950系列模擬式質(zhì)量流量計/控制器(低量程)技術(shù)參數(shù):

技術(shù)指標(biāo)GRYLLS-5950系列-FC質(zhì)量流量控制器/GRYLLS-5950系列-FM 質(zhì)量流量計

格里爾斯GRYLLS-5950系列模擬式質(zhì)量流量計量程范圍5SCCM ~ 30SLM

準(zhǔn)確度±1.0%F.S

溫度:±1℃

線性±0.5%F.S

重復(fù)精度±0.2%F.S

響應(yīng)時間<2s<1.5s

模擬量0 ~ 5V、4 ~ 20mA

供電±15VDC,24VDC

工作溫度0 ~ 50℃

工作壓力工作壓差:0.05 ~ 0.5MPa工作壓降:<30Kpa

*耐壓3MPa/10MPa

電氣連接DB15 孔

漏率1×10-9SCCSHe

溫度系數(shù)±0.015%F.S/℃

底座材質(zhì)316L

密封材質(zhì)氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠

接頭φ3,φ6,1/8",1/4"